Введение
1. Литературный обзор 16
1.2. Синтез, физико-химический и рентгеноструктурный анализ летучих комплексов металлов с органическими лигандами 23
.2.1. Комплексы Zr(IV) и Hf(IV) с органическими лигандами 23
1.2.1.1. Соединения со спиртами 24
1.2.1.2. Соединения с аминами 25
1.2.1.3. Циклопентадиенильные производные 26
1.2.1.4. р-дикетонаты Zr(IV) и Hf(IV)
1.2.1.4.1. р-дикетонатные лиганды 27
1.2.1.4.2. Методы синтеза р-дикетонатов Zr(IV) и Hf(IV) 30
1.2.1.4.3. Физико-химическое исследование Р-дикетонатов Zr(IV) и Hf(IV) 31
1.2.1.4.4. Кристаллохимическое и рентгеноструктурное исследование р-дикетонатов Zr(IV) и Hf(IV) 32
1.2.2. Летучие комплексы иридия 33
1.2.2.1. Соединения иридия со связью металл-углерод 33
1.2.2.1.1. Гетеролигандные карбонилы иридия 33
1.2.2.1.2. Циклопентадиенильные производные иридия 34
1.2.2.1.3. Другие комплексы иридия
1.2.2.2. Комплексы иридия с (8,8)-лигандами 35
1.2.2.3. Р-дикетонатные производные 1г(Ш) 36
1.2.3. Летучие комплексы рутения 38
1.2.3.1. р-дикетонаты Ru(III) 38
1.2.3.2. Аллильные производные Ru(II, IV) .
1.2.3.3. Циклопентадиенильные производные Ru(II) 42
1.2.3.4. Другие комплексы рутения
1.2.4. Комплексы Cu(II) с дииминными производными р-дикетонов 45
1.2.5. Комплексы Au(III) с органическими лигандами
1.2.5.1. Галоидные и псевдогалоидные соединения 47
1.2.5.2. Соединения золота, стабилизированные атомами VI группы 49
1.3. Методы исследования термических свойств летучих соединений 53
1.3.1. Исследование термической стабильности соединений
в конденсированном состоянии 53
1.3.1.1. Комплексы Zr(IV), Hf(IV) с органическими лигандами 54
1.3.1.2. Комплексы 1г(Ш), Ru(III) с Р-дикетонами 58
1.3.1.3. Комплексы диметилзолота(Ш) 59
1.3.2. Измерение температурных зависимостей давления насыщенног
о пара летучих комплексов металлов с органическими лигандами 61
1.3.2.1. Р-дикетонаты Zr(IV) и Hf(IV) 63
1.3.2.2. Летучие комплексы иридия 64
1.3.2.3. Летучие комплексы рутения 66
1.3.2.4. Летучие комплексы диметилзолота(Ш) 67
1.3.3. Исследование термической стабильности паров комплексов металлов 70
1.3.3.1. Термораспад паров комплексов Zr(IV), Hf(IV) 72
1.3.3.2. Термораспад паров р-дикетонатов Ir(III), Ru(III) 72
1.3.3.3. Термораспад паров комплексов Au(III) 73
1.4. Осаждение пленок методом MOCVD 74
1.4.1. Осаждение пленок Zr02 и НГО2 74
1.4.2. Осаждение пленок Ir, Ru, Си методом MOCVD 75 стр.
1.4.3. Осаждение пленок Аи методом MOCVD 76
1.5. Заключение 78
2. Синтез и физико-химическое изучение летучих комплексов металлов с органическими лигандами 82
2.1. Синтез Р-дикетонатов Zr(IV), Hf(IV) 82
2.2. Синтез р-дикетонатов Ru(III) и Ir(III) 84
2.3. Синтез уС-галоген-замещенных ацетилацетонатов 1г(Ш) и дипивалоилметанатов Ru(III), Cu(II) 88
2.4. Синтез комплексов Cu(II) с 0,N- и ]Ч,М-донорными лигандами 89
2.5. Синтез комплексов металлов с другими лигандами 2.5.1. Синтез комплексов Ru(II); Ir(I, III) 92
2.5.2. Синтез диэтилдитиокарбаматов металлов платиновой группы 93
2.5.3. Синтез бмс-циклопентадиенильных производных Hf(IV) 94
2.5.4. Синтез комплексов диметилзолота(Ш) с 0,1чГ,8-донорными лигандами 2.5.4.1. Синтез исходного иодида диметилзолота(Ш) 94
2.5.4.2. Синтез карбоксилатов диметилзолота(Ш) 95
2.5.4.3. Синтез комплексов диметилзолота(Ш) с N-замещенными салицилальдиминами 96
2.5.4.4. Синтез хинолинатов диметилзолота(Ш) 96
2.6. Физико-химическое исследование синтезированных комплексов металлов 97
2.6.1. ИК-спектроскопическое исследование соединений 97
2.6.1.1. Р-дикетонаты Zr(IV), Hf(IV), Ru(III) 97
2.6.1.2. Галоген-замещенные р-дикетонаты Іг(ІІІ), Cu(II) 99
2.6.1.3. Комплексы металлов с другими лигандами 100
2.6.2. ЯМР-спектроскопическое исследование соединений 101 стр.
2.6.3. Масс-спектрометрическое исследование соединений 104
2.6.3.1. р-дикетонатные производные металлов 104
2.6.3.2. Комплексы металлов с другими лигандами 106
2.7. Синтез ряда соединений в укрупненном масштабе 109
3. Кристаллохимическое исследование комплексов металлов с органическими лигандами 113
3.1. Кристалл охимическое исследование Р-дикетонатов Zr(I V) и Hf(IV) 113
3.2. Кристаллохимическое исследование уС-галоген-замещенных Р-дикетонатов Ir(III) и Cu(II) 130
3.3. Кристаллохимическое исследование комплексов Cu(II) с 0,1Ч-донорными лигандами 136
3.4. Кристаллохимическое исследование разнолигандных комплексов Ir(I) 140
3.5. Кристаллохимическое исследование комплексов диметилзолота(Ш) 145
4. Исследование термического поведения соединений в конденсированной фазе 165
4.1. Комплексы Zr(IV), Hf(IV) 166
4.2. Р-дикетонаты Ru(III) 171
4.3. Галогензамещенные Р-дикетонаты Ir(III), Cu(II) 174
4.4. Диэтилдитиокарбаматы платиновых металлов 176
4.5. Разнолигандные комплексы Ir(I) 177
4.6. Карбоксилаты диметилзолота(Ш) 178
4.7. Салицилальдиминаты диметилзолота(Ш) 180
4.8. Хинолинаты диметилзолота(Ш) 181
5. Изучение процессов парообразования летучих комплексов металлов с органическими лигандами 184
5.1. Р-Дикетонатные производные металлов 187
5.1.1. Комплексы Zr(IV), Hf(IV) 187
5.1.2. р-Дикетонаты Ru(III) 193
5.1.3. Ацетилацетонаты металлов платиновой группы 197
5.1.4.р дикетонатные производные Cu(II) 201
5.2. Комплексы металлов с другими лигандами 204
5.2.1. Диэтилдитиокарбаматы металлов платиновой группы 204
5.2.2. Разнолигандные комплексы Ru(II), Ir(I) 206
5.2.3. Карбоксилаты диметилзолота(Ш) 209
5.2.4. N-замещенные салицилальдиминаты диметилзолота(Ш) 211
5.2.5. Хинолинаты диметилзолота(Ш)
2 5.3. Расчет энергии межмолекулярного взаимодействия 217
5.4. Методики обработки тензиметрических экспериментов 219
6. Изучение термической устойчивости паров комплексов металлов 227
6.1. Комплексы Hf(IV) 229
6.2. Дииминные комплексы Cu(II) 233
6.3. Комплексы Ru(III, II) 235
6.4. Комплексы Ir(III, I) 239
6.5. Комплексы диметилзолота(Ш) 242
7. Осаждение металлических и оксидных слоев методом mocvd 251
7.1. Пленки на основе диоксида циркония 253
7.2. Пленки диоксида гафния 255
7.3. Пленки диоксида рутения Ru02 и металлического рутения 259 стр.
7.3. Пленки металлического иридия. 261
7.4. Пленки металлической меди 263
7.5. Пленки металлического золота 264
Выводы 269
Литература 273
