Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники

Савкин Алексей Владимирович. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1187-4
Автор
Савкин Алексей Владимирович
Год
2002

  • 99 000 UZS

Рекомендуем вам товары

Исследование и разработка методов и средств проектирования микросистем высокой надежности
99 000 UZS
Автор
Блохина Вероника Борисовна
Количество страниц
Год
2001
Разработка интегральной микросхемы частотного компаратора для блока управления экономайзером отечественных легковых автомобилей
99 000 UZS
Автор
Горячкин Юрий Викторович
Количество страниц
Год
2001
Планарные микрооптические градиентные структуры на основе стекол
99 000 UZS
Автор
Журихина Валентина Владимировна
Количество страниц
Год
2001
Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
99 000 UZS
Автор
Изюмов Михаил Олегович
Количество страниц
Год
2001
Разработка и исследование методов проектирования цифровых заказных СБИС
99 000 UZS
Автор
Ковалев Андрей Владимирович
Количество страниц
Год
2001
Новостной блок
Модули для Opencart 2, Опенкарт 3