Введение
Глава 1. Современное состояние интегральных акселерометров 11
1.1. Обзор конструктивных схем интегральных акселерометров 11
1.2. Обзор и анализ методов демпфирования подвижных узлов интегральных акселерометров 23
Глава 2. Разработка теории построения интегрального компенсационного датчика линейных ускорений 30
2.1. Математическая модель подвижного узла интегрального акселерометра 30
2.2. Передаточная функция емкостного преобразователя перемещений 36
2.3. Передаточное соотношение корректирующего термодатчика 39
2.4. Передаточное соотношение преобразователя обратной связи 42
Глава 3. Оценка погрешности интегральных акселеро метров и разработка методов улучшения их характеристик 48
3.1. Оценка погрешности статической характеристики интегрального чувствительного элемента 48
3.2. Оценка степени демпфирования интегрального маятника с помощью электрического контура 51
3.3. Компенсация температурной погрешности электростатическо го притяжения емкостного преобразователя перемещений конструктивным методом 55
3.4 Оценка динамической погрешности от несимметричности потоков демпфирующего газа 59
3.5 Оптимизация параметров катушки преобразователя обратной связи 61
3.6 Оптимизация параметров упругого подвеса интегрального маятника 63
3.7 Методика проведения и результаты экспери ментальных исследований 71
3.8 Описание объекта экспериментальных исследований 71
Глава 4 Методика испытаний интегральных акселерометров с помо щью оптической делительной головки 73
4.1 Температурные испытания интегральных акселерометров . 76
4.2 Динамические испытания интегральных акселерометров с помощью вибростенда 78
4.3 Применение косвенного метода снятия АЧХ 84
4.4 Экспериментальные исследования материала постоянного магнита для магнитоэлектрического преобразователя момента 90
Выводы 92
Список принятых обозначений 93
Литература 98
Приложение 104
