Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади
Сочугов, Николай Семенович. Ионно-плазменное оборудование и процессы нанесения тонкопленочных функциональных покрытий на подложки большой площади : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.02 / Сочугов Николай Семенович; [Место защиты: Ин-т сильноточ. электроники].- Томск, 2012.- 42 с.: ил. РГБ ОД, 9 12-6/34
