Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади
Оскомов Константин Владимирович. Ионно-плазменные методы нанесения твердых аморфных углеродных покрытий на подложки большой площади : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.02.- Томск, 2001.- 173 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/48-0