Введение
Глава I. Экспериментальная автоматизированная установка для "іи sltu" эллипсометрических исследований адсорбционно-де-сорбционных процессов на поверхностях полупроводников 18
1.1. Эллипсометр экспериментальной установки 18
1.2. Система автоматизации эллипсометрических измерений .. 28
1.3. Вспомогательные системы экспериментальной установки.. 34
Глава II. Эллипсометрическое исследование оптических характеристик поверхностей кремния и германия на длине волны %=6328 А 43
2.1. Получение атомарно-чистых поверхностей кремния и германия для эллипсометрических исследований 46
2.2. Оптические постоянные атомарно-чистых поверхностей крешйятй их температурные зависимости 57
2.3. Сравнение температурных зависимостей оптических параметров атомарно-чистых поверхностей кремния, по верхностей кремния с пленкой Ottg и с адсорбцион ным кислородным слоем 72
Глава III. Модель атомарно-чистой поверхности кремния и поверхности кремния с адсорбционным кислородным слоем с точки зрения эллипсометрии . 78
3.1. Обзор литературы. 78
3.2. Анализ решений уравнения эллипсометрии для модели "подложка-пленка", описывающей адсорбционно-десорбционные процессы 85
3.3. Модель нагретой атомарно-чистой поверхности кремния с адсорбционным кислородным слоем с точки зрения эллшзсометрии 94
3.4. Соотношения между измеряемыми эллипсометрическими параметрами и микроскопическими характеристиками системы "кремний-кислород" 99
3.5. Расчет числа частиц в поверхностном и надповерхностном слое системы "кремний-кислород" по значениям эллипсометрических параметров 104
Глава IV. Исследование закономерностей взаимодействия кислорода с поверхностью кремния " til situ, » эллипсометрическим. методом ; 111
4.1. Общий характер поведения эллипсометрических параметров в зависимости от условий окисления поверхности кремния ИЗ
4.2. Эллипсометрическое исследование кинетики адсорбции кислорода на поверхности кремния в диапазоне температур 20-780С 119
4.3. Закономерности роста окисных пленок нестехиометрического состава при низких давлениях кислорода. 140
4.4. Эллипсометрическое исследование кинетики термодесорбции тонких и субтонких окисных покрытий с поверхности монокристаллического кремния 147
Выводы 164
Список литературы 168
Примечания 186
