Введение
1. Уравнения движения ротора микромеханического гироскопа 8
1.1. Обзор конструктивных схем 8
1.2. Принцип действия 18
1.3. Вывод уравнений ротора микромеханического гироскопа 22
1.4. Влияние отдельных слагаемых в уравнениях ММГ 30
2. Первичные колебания ротора ММГ 34
2.1. Требования к первичным колебаниям 34
2.2. Расчет момента электростатического привода 34
2.3. Способы возбуждения первичных колебаний в режиме автогенерации 37
2.4. Результаты моделирования системы стабилизации амплитуды в режиме автогенерации 42
2.5. Сравнение схем автогенерации с интегрированием идифференцированием 49
2.6. Влияние нелинейности жесткости на характеристики ММГ... 52
3. Выходные колебания ротора ММГ 57
3.1. Оценка полосы пропускания ММГ при работе в разомкнутом контуре 57
3.2. Расчет датчика угла по оси выходных колебаний 63
3.3. Исследование передаточных функций по ошибке 65
3.4. Аналитическая модель микромеханического гироскопа 73
4. Методика и результаты экспериментальных исследований 98
4.1. Определение перечня исследуемых параметров 98
4.2. Блок-схема контрольно-проверочной аппаратуры для проведения испытании 99
4.3. Методики испытаний 101
4.4. Методики обработки информации 108
4.5. Экспериментальная оценка резонансных частот 111
4.6. Оценка влияния угловой скорости на амплитуду первичных колебании 116
4.7. Определение изменения величины масштабного коэффициента при изменении амплитуды первичных колебаний в условиях нелинейной жесткости 120
Заключение 126
Список литературы 127
