Исследование фазового состава и субструктуры силицидов, образующихся при импульсной фотонной обработке некогерентным излучением пленок металлов на кремнии
Кущев, Сергей Борисович. Исследование фазового состава и субструктуры силицидов, образующихся при импульсной фотонной обработке некогерентным излучением пленок металлов на кремнии : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.07.- Воронеж, 2000.- 260 с.: ил. РГБ ОД, 71 00-1/311-4
