Введение
ГЛАВА 1. Практическое применение и физические проблемы метода водородного отщепления ("smart-cut") 13
1.1 Метод "smart-cut" 13
1.2 Физические основы ионного отщепления 17
1.3 Состояние проблеммы и задачи исследований 42
Выводы 46
ГЛАВА 2. Методика эксперимента 47
2.1 Подготовка образцов 47
2.2 Методы оптической спектроскопии отражения и пропускания 49
2.3 Исследование структуры поверхности с помощью оптического микроскопа 61
2.4 Методика анодного окисления и стравливания для послойного анализа 63
Выводы 64
ГЛАВА 3. Формирование поверхностной структуры и отслаивание в имплантационных слоях SI:H 66
3.1 Структурные нарушения в имплантированном слое 66
3.2 Интерференция и рассеяние при блистеринге 71
3.3 Оптическая модель слоистой структуры поверхности 76
3.4 Формирование слоистой структуры при имплантации и термообработке 87
3.5 Перестройка водородных состояний 93
3.6 Развитие микроструктуры имплантированного слоя 96
Выводы 108
Глава 4. Физические механизмы водородного блистеринга и отщепления 110
4.1. Представление процессов отслаивания с позиции теории разрушения 110
4.2 Форма и ориентация газовых включений в твердом теле. (феноменологический подход) 116
4.3 Термодинамическая трансформация водородных включений в кремнии 142
4.4 Физические модели процессов отслаивания при блистеринге и отщеплении 148
Выводы 155
Заключение 157
Литература
