Введение
1. Разработка физических моделей однонаправленных структур и исследование акустоэлектронных приборов на их основе 13
1.1. Анализ встречно-штыревых преобразователей ПАВ методом связанных мод 13
1.2. Фильтры на основе продольно-связанных резонаторных структур 19
1.3. Однонаправленные структуры на основе U-образного ответвите ля 35
1.4. Фильтры на основе реверсивного многополоскового ответвителя 43
1.5. Фильтры на основе преобразователей с внутренними отражателями 63
1.6. Фильтры на основе поперечно-связанных резонаторных структур 77
2. Исследование технологических особенностей разработки и производства акустоэлектронных приборов 96
2.1. Технология изготовления микроэлектронных структур 96
2.2 Исследование влияния геометрии электродной структуры и параметров напыляемой пленки на свойства ПАВ
2.3. Технология изготовления фильтров на ПАВ с малыми потерями 120
2.4. Термостабилизация акустоэлектронных приборов 126
2.5. Оценка надежности акустоэлектронных приборов 133
Заключение и основные результаты работы 135
Список литературы 137
