Введение
Глава 1. Представление о методах сканирующей силовой микроскопии 11
1.1. Классификация методов и особенности проведения измерений сканирующей силовой микроскопии 11
1.2. Области применения атомно-силовой и магнитно-силовой микроскопии 25
1.3. Кремниевая микромеханика для атомно-силовой и магнитно-силовой микроскопии 36 Выводы по главе 1 .43
Глава 2. Разработка кантилеверов сканирующей силовой микроскопии для повышения точностных характеристик методов .45
2.1. Метод заострения игл кремниевых кантилеверов с использованием ионно-лучевого травления с рассфокусированным лучом 45
2.2. Создание магнитного кантилевера с использованием метода импульсно-плазменного осаждения сверхтонких пленок 69
Выводы по главе 2 .82
Глава 3. Разработка методик измерений для совершенствования функциональных и точностных характеристик атомно-силовой микроскопии . 83
3.1. Методика проведения измерений в полуконтактной моде атомно-силовой микроскопии, учитывающая сдвиг резонансной частоты колебаний кантилевера .83
3.2. Методика измерений сложнопрофильных микро- и нанообъектов на основе атомно-силовой микроскопии 96
Выводы по главе 3 107
Глава 4. Разработка методик измерений для совершенствования функциональных и точностных характеристик магнитно - силовой микроскопии 108
4.1. Анализ погрешностей, возникающих при измерениях в магнитно-силовой микроскопии 108
4.2. Влияние боковой намагниченности иглы МСМ кантилевера на характер ее магнитного взаимодействия . 116
4.3. Разработка методики трехпроходных измерений в магнитно-силовой микроскопии .125
4.4. Исследование магнитных микро- и нанообъектов на основе МСМ.. 133
Выводы по главе 4 140
Основные результаты и выводы. 141
Список используемой литературы
