Исследование и разработка процессов термообработки полупроводниковых материалов для специального применения
Шагаров Борис Анатольевич. Исследование и разработка процессов термообработки полупроводниковых материалов для специального применения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2000.- 111 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/205-5