Исследование и разработка сканирующей зондовой микроскопии с проводящими кантилеверами для создания и диагностики наноразмерных структур
Лемешко Сергей Владимирович. Исследование и разработка сканирующей зондовой микроскопии с проводящими кантилеверами для создания и диагностики наноразмерных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 170 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/16-3
