Введение
1. Анализ существующих методов минимизации температурных погрешностей металлопленочных датчиков в стационарном температурном режиме эксплуатации и выбор направления исследования 10
1.1. Исследование механизма возникновения температурных погрешностей металлопленочных тензорезисторных датчиков 10
1.2. Схемные методы минимизации температурных погрешностей 34
1.3. Конструктивные методы минимизации температурных погрешностей 42
1.4. Технологические методы минимизации температурных погрешностей 45
1.5. Выводы и выбор направления исследования 56
2. Исследование и разработка способов схемной компенсации с целью повышения точности на стройки металлопленочных датчиков 64
2.1. Разработка способов повышения точности существующих методов схемной компенсации при минимизации аддитивной температурной погрешности 65
2.2. Разработка способов схемной компенсации аддитивной температурной погрешности от влияния чувствительности датчика к моменту затяжки при установке на изделии 74
2.3. Разработка способов схемной компенсации аддитивной температурной погрешности от влияния температурного расширения газа, загерметизированного во внутренней полости датчика относительного давления 82
2.4. Расширение технологических возможностей разработанных способов схемной компенсации при минимизации аддитивной температурной погрешности 88
2.5. Выводы и рекомендации по применению 100
3. Косвенные способы минимизации температур ной погрешности металлопленочных тензорезис- торных датчиков в процессе настройки и эксплу атации 105
3.1. Разработка косвенных способов компенсации аддитивной температурной погрешности с использованием термозависимого компенсационного резистора 107
3.2. Разработка косвенных способов компенсации аддитивной температурной погрешности с использованием термонезависимого компенсационного резистора 119
3.3. Разработка косвенных способов компенсации мультипликативной температурной погрешности. 126
3.4. Разработка способов минимизации температурной погрешности в процессе изготовления настройки аттестации и эксплуатации датчиков 131
3.5. Выводы и рекомендации по применению 140
4. Разработка способов минимизации темпера турных погрешностей при работе металлопле ночных датчиков в нестационарных темпера турных режимах 148
4.1. Исследование причин возникновения температурных погрешностей тензорезисторных датчиков при нестационарных температурных режимах эксплуатации 149
4.2. Исследование и разработка способов выявления механизма возникновения температурных погрешностей при работе датчика в нестационарных температурных режимах эксплуатации 159
4.3. Анализ существующих способов компенсации аддитивной температурной погрешности при работе датчика в нестационарных температурных режимах эксплуатации 169
4.4. Исследование и разработка способов минимизации температурных погрешностей при работе датчика в нестационарных температурных режимах эксплуатации 174
4.5. Выводы и рекомендации по применению 188
Заключение 195
Список литературы 199
