Введение
1. Математическая модель чувствительного элемента микромехани ческого гироскопа с упругим подвесом 11
1.1. Обзор упругих подвесов чувствительного элемента микромеханического гироскопа 11
1.2. Математическая модель движения чувствительного элемента микромеханического гироскопа с упругим подвесом 20
1.3. Анализ математической модели движения чувствительного элемента микромеханического гироскопа с упругим подвесом 26
1.4. Методы исследования поведения чувствительного элемента микромеханического гироскопа с упругим подвесом 44
2. Инструментальные погрешности чувствительного элемента мик ромеханического гироскопа с упругим подвесом 55
2.1. Обзор инструментальных погрешностей чувствительного эле мента микромеханического гироскопа с упругим подвесом 55
2.2. Анализ инструментальных погрешностей чувствительного элемента микромеханического гироскопа с упругим подвесом 59
2.3. Влияние свойств материала на характеристики чувствительного элемента ММГ с упругим подвесом 74 Выводы по главе 2 84
3. Вопросы построения чувствительного элемента микромеханиче ского гироскопа с упругим подвесом 86
3.1. Возможности технологии по производству микромеханических гироскопов 86
3.2. Влияние технологических погрешностей на характеристики чувствительного элемента ММГ с упругим подвесом 93
3.3. Разработка конструкции чувствительно элемента микромеха- 99 нического гироскопа с упругим подвесом
3.4. Влияние ударов на поведение чувствительного элемента микромеханического гироскопа с упругим подвесом 110
4. Экспериментальные исследования опытных образцов микромеха нического гироскопа 119
4.1. Определение частотных характеристик опытных образцов ММГ 119
4.2. Определение амплитуд колебаний опытных образцов ММГ 123
4.3. Использование опытных образцов ММГ в качестве ДУС 127
Заключение и основные выводы по диссертации 132
Публикации автора по теме диссертации 134
Литература 137
