Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники
Севрюкова, Елена Александровна. Исследование изменчивости аэрозоля под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.13 / Севрюкова Елена Александровна; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ].- Москва, 2011.- 116 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/407