Исследование электрических и емкостных свойств слоев пористого кремния различной морфологии и пористости
Комаров Евгений Павлович. Исследование электрических и емкостных свойств слоев пористого кремния различной морфологии и пористости : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10.- Ярославль, 2002.- 144 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/1092-3