Введение
ГЛАВА 1. Современное состояние исследования тлеющего разряда 10
1.1. Непрерывный спектр излучения тлеющего разряда 10
1.2. Функция распределения электронов по энергиям в области отрицательного свечения 14
1.3. Влияние продольного магнитного поля на тлеющий разряд 18
1.4. Диффузия заряженных частиц в магнитном поле 22
1.5. Заключение по главе 24
ГЛАВА 2. Экспериментальная установка. Методики измерений 26
2.1. Экспериментальная установка для исследования тлеющего
разряда низкого давления в продольном магнитном поле 26
2.2. Градуировка оптической системы. Спектральные измерения 29
2.3. Диагностика температуры и концентрации электронов плазмы тлеющего разряда 33
2.4. Двухзондовый метод диагностики плазмы 35
2.4.1. Определение температуры электронов 38
2.4.2. Определение плотности заряженных частиц 42
2.4.3. Погрешности зондовых измерений 43
2.5. Заключение по главе 45
ГЛАВА 3. Влияние магнитного поля на электрические характеристики тлеющего разряда 47
3.1. Влияние магнитного поля на тлеющий разряд 47
3.2. Продольное распределение температуры и плотности электронов 51
3.3. Длина отрицательного свечения тлеющего разряда низкого давления 54
3.4. Заключение по главе 68
ГЛАВА 4. Непрерывный спектр излучения тлеющего разряда низкого давления 70
4.1. Спектр излучения в области отрицательного свечения 70
4.2. Элементарные процессы формирующие излучение непрерывного спектра тлеющего разряда 78
4.3. Тормозное излучение электрона на нейтральных частицах 83
4.4. Влияние нелокальности функции распределения электронов по энергиям на излучение непрерывного спектра 91
4.5. Спектр излучения области положительного столба 94
4.6. Заключение по главе 96
Заключение 97
Список литературы 100
