Введение
1 Аналитический обзор 10
1.1 Требования к современным сверхвысокочастотным керамическим материалам... 10
1.2 Основные физико-химические принципы получения керамики с заданными электрическими свойствами в диапазоне СВЧ 16
1.3 Особенности технологии микроволновой керамики 21
1.3.1 Аттриторы мокрого помола 21
1.3.2 Комбинированное спекание 25
1.4 Структура и электрические свойства керамических материалов на основе титанатов, танталатов и ниобатов щелочноземельных элементов 27
1.4.1 Система MgO-Si02i02 27
1.4.2 Система ZnO-Nb205i02 34
1.4.3 Керамика ZnTa2 О б 39
1.4.4 Керамика Ba3ZnTa209 44
1.4.4.1 Приготовление керамики Ba3ZnTa209 44
1.4.4.2 Кристаллическая структура керамики Ba3ZnTa209 46
1.4.4.3 Электрические свойства керамики Ba3ZnTa209 в диапазоне СВЧ 50
2 Приготовление образцов и методы исследования 56
2.1 Приготовление образцов 56
2.1.1 Характеристики исходных материалов 56
2.1.2 Технология приготовления образцов 58
2.2 Методы исследования 59
2.2.1 Определение электрических свойств керамики в соответствии с ОСТ 110309-86 59
2.2.1.1 Определение относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь на частоте 1 МГц 59
2.2.1.2 Определение температурного коэффициента емкости 60
2.2.1.3 Определение относительной диэлектрической проницаемости в диапазоне СВЧ з
2.2.1.4 Определение резонансной частоты и добротности диэлектрических резонаторов в диапазоне СВЧ 62
2.2.1.5 Определение температурного коэффициента резонансной частоты 64
2.2.2 Рентгенографический анализ 65
2.2.3 Высокотемпературный рентгенографический анализ 65
2.2.4 Рентгенофлуоресцентный анализ 66
2.2.5 Растровая электронная микроскопия 66
2.2.6 Определение кажущейся плотности 67
2.2.7 Определение удельной поверхности 68
2.2.8 Определение выходной мощности генерируемых СВЧ колебаний 69
2.2.9 Обработка результатов эксперимента 69
3 Результаты исследования и их обсуждение 70
3.1 Керамика с малыми значениями относительной диэлектрической проницаемости 70
3.1.1 Система Mg2Si04-Mg2Ti04 70
3.1.2 Система Mg2Si04-Mg2Ti04-CaTi03 75
Выводы по разделу 3.1 77
3.2 Система ZnNb206-Zn0.i7Nbo.33Tio.502 78
Выводы по разделу 3.2 88
3.3 Керамика ZnTa2 О б 88
3.3.1 Синтез ZnTa206 89
3.3.2 Фазовый состав, структура и электрические свойства керамики ZnTa206 в диапазоне СВЧ 92
3.3.3 Повышение температурной стабильности резонансной частоты керамики ZnTa206 95
3.3.3.1 Система ZnTa2 Об-ZnO 95
3.3.3.2 Системы ZnTa206i02 и ZnTa206-Zr02 103
3.3.3.3 Твердые растворы (Zni xCox)(Tai 2yZryWy)206 114
Выводы по разделу 3.3 120
3.4 Керамика Ba3ZnTa209 121
3.4.1 Синтез Ba3ZnTa209 121 3.4.2 Фазовый состав, структура и электрические свойства керамики Ba3ZnTa209 в диапазоне СВЧ 122
3.4.3 Повышение температурной стабильности резонансной частоты керамики Ba3ZnTa209 125
3.4.3.1 Система Ba3ZnTa209-BaZr03 125
3.4.3.2 Твердые растворы Ва3(Znі хМех)Та209, где Ме=Со, Ni 132
Выводы по разделу 3.4 141
Заключение 142
Список сокращений и условных обозн0ачений 144
Список использованных источников
