Исследование электрофизических свойств структур кремний-диэлектрик с использованием автоматизированного комплекса
Хруцкий, Владимир Константинович. Исследование электрофизических свойств структур кремний-диэлектрик с использованием автоматизированного комплекса : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 01.04.07.- Киев, 1993.- 18 с.: ил.