Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3
Гуляев, Вячеслав Валентинович. Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3 : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Гуляев Вячеслав Валентинович; [Место защиты: Воронеж. гос. техн. ун-т].- Воронеж, 2011.- 135 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2194