Введение
ГЛАВА 1. Механизмы возбуждения и заселенности метастабильных состояний
1.1. Механизмы возбуждения метастабильных состояний атомов и молекул в низкотемпературной плазме. 10
1.1.1. Механизмы возбуждения метастабильного состояния молекул азота в плазме газовых разрядов . 11
1.1.2. Механизмы возбуждения метастабильных состояний атомов аргона. 21
1.2. Методы определения заселенности метастабильных состояний атомов и молекул. 25
1.2.1. Методы определения заселенности метастабильного состояния молекул азота. 25
1.2.2. Методы определения заселенности метастабильных состояний атомов аргона. 33
1.3. Тлеющий разряд, как один из способов возбуждения частиц. 47
ГЛАВА 2. Абсолютные заселенности метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда
2.1. Экспериментальная установка. 53
2.2. Методика определения абсолютных заселенностей метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда . 55
2.3. Экспериментальные исследования заселенностей метастабильных состояний аргона в плазме высокочастотного разряда. 57
ГЛАВА 3. Экспериментальные исследования заселенности метастабильного состояния молекул азота в неравновесной плазме
3.1. Экспериментальная установка. 68
3.2. Метод определения заселенности метастабильного состояния молекул азота. 70
3.3. Экспериментальные исследования заселенности метастабильного состояния молекул азота спектральным методом. 77
3.3.1 Заселенность метастабильного состояния молекул азота в плазме тлеющего разряда 77
3.3.2 Заселенность метастабильного состояния молекул азота в вакуумно-дуговом разряде при одновременном возбуждении тлеющего разряда. 91
Глава 4. Прикладные аспекты роли возбужденных состояний при формировании тонких пленок нитрида алюминия
4.1. Адгезионная прочность пленок нитрида алюминия. 113
4.2. Скорость роста пленок нитрида алюминия . 117
Выводы. Заключение 121
Список литературы 124
