Исследование локальных характеристик полупроводниковых структур методом поверхностного электронно-индуцированного потенциала в растровой электронной микроскопии
Чжу Шичю. Исследование локальных характеристик полупроводниковых структур методом поверхностного электронно-индуцированного потенциала в растровой электронной микроскопии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 2001.- 172 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/181-9
