Введение
1 Обоснование выбора метода непрямого широкополосного контроля 15
1.1 Сравнение оптических методов контроля с неоптическими 15
1.2 Методы оптического контроля по спектрам отражения и пропускания 26
1.3 Методы широкополосного и монохроматического контроля 35
1.4 Методы прямого и непрямого оптического контроля 40
Выводы к главе 1 47
2 Исследование погрешностей системы контроля с помощью компьютерного моделирования 49
2.1 Перспективность компьютерного моделирования систем контроля 50
2.2 Программное обеспечение для решения прямых и обратных задач 52
2.3 Модель вакуумной установки и системы контроля 62
2.4 Результаты моделирования и их обсуждение 70
Выводы к главе 2 80
3 Разработка метода измерения толщин тонких стартовых слоёв 83
3.1 Анализ погрешностей измерения толщин тонких стартовых слоёв 84
3.2 Предпосылки для снижения погрешностей определения толщин 88
3.3 Метод непрямого контроля с предварительно нанесённым слоем 92
3.4 Выводы к главе 3 96
4 Создание и применение системы широкополосного спектрального контроля 97
4.1 Разработка системы спектрального широкополосного контроля 98
4.2 Технология контроля нанесения покрытия 112
4.3 Применение системы контроля 119
4.4 Сравнение системы контроля с существующими решениями 129
Выводы к главе 4 133
Заключение 136
Список литературы 139
Приложение А Акты о внедрении 152
Приложение Б Патент на изобретение 155
Приложение В Свидетельства о государственной регистрации программ для ЭВМ 156
