Исследование методов формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона с использованием фоторезистов и фотополимерных композиций
Моисеев, Олег Юрьевич. Исследование методов формирования микрорельефа дифракционных оптических элементов инфракрасного диапазона с использованием фоторезистов и фотополимерных композиций : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.01.- Самара, 2000.- 111 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-5/774-X
