Введение
ГЛАВА 1. Экспериментальное оборудование для получения многослойных и сверхмногослойных наноструктур бинарного состава
1.1. Экспериментальный стенд для создания металлических многослойных и сверхмногослойных наноструктурированных материалов и покрытий бинарного состава методом магнетронного напыления 49
1.1.1. Конструкция катодного узла магнетронной распылительной системы 59
1.1.2. Разрядные характеристики магнетронной распылительной системы 62
1.1.3. Рабочие параметры экспериментального оборудования 66
1.2. Экспериментальный стенд для получения многослойных и сверхмногослойных наноструктурированных материалов и покрытий методом ионно-лучевого распыления 68
1.2.1. Конструкция технологического ускорителя 77
1.2.2. Разрядные характеристики ускорителя 79
1.2.3. Рабочие параметры оборудования 88
1.3. Выводы 89
ГЛАВА 2. Исследование микро - и наноструктуры много слойных и сверхмногослойных металлических наноструктур бинарного состава
2.1. Исследование слоистого строения многослойных и сверх-многослойных наноструктур методом растровой электронной микроскопии 97
2.2. Исследование слоистого строения многослойных и сверх-меогослойных материалов методом просвечивающей электронной микроскопии 107
2.3. Исследование слоистой структуры и химического состава 109
2.3. Исследование топологии поверхности наноламинатов 116
2.4. Исследование кристаллографической структуры и фазового состава многослойных пленок методом рентгеноструктурного анализа 119
2.6. Выводы 134
ГЛАВА 3. Исследование теплофизических процессов распространения волны самоподдерживающейся экзотермической реакции в многослойных мета стабильных металлических наноструктурах 142
3.1. Скоростная фото- видеорегистрация динамики самораспространяющегося высокотемпературного синтеза компонентов в многослойных фольгах 151
3.2. Регистрация температурных изменений во фронте самоподдерживающейся экзотермической реакции 175
3.3. Выводы 180
ГЛАВА 4. Исследование структуры интерметаллических пленок, синтезированных на основе многослойных метастабильных наноструктур методом самораспрос траняющегося высокотемпературного синтеза 186
4.1. Исследование поперечных сколов пленок интер-металлидов 191
4.2. Исследование процессов трансформации слоистой структуры многослойных пленок в процессе нагрева 196
4.3. Исследование характера распределения атомов реагентов в пленках интерметалл и дов после экзотермической реакции 200
4.4. Кристаллографические исследования пленок интер-металлидов, синтезированных на основе многослойных наноструктур 203
4.4.1. Кристаллографические особенности пленок интерметал-лидов, созданных на основе многослойных структур Ti-Al 205
4.4.2. Кристаллографические особенности пленок интерметал-лидов, созданных на основе многослойных структур Hf-AI 217
4.4.3. Кристаллографические исследования структурных изменений в многослойной системе Си-А1 при нагреве 220
4.5. Выводы 221
Основные результаты и выводы 225
Список литературы 226
