Введение
ЧАСТЬ 1. Исследование оптических констант пленок фторидов 10
ГЛАВА 1. Спектрофотометрический метод исследования оптических констант 12
1.1. Обзор спектрофотометрических методов исследования оптических констант пленок 12
1.2. Анализ пленок и интерференционных покрытий
1.2.1. Математическая модель 17
1.2.2. Рекуррентный метод 20
1.2.3. Адмиттансный метод 21
1.2.4. Матричный метод
1.3. Методика определения показателя преломления непоглощающих пленок 28
1.4. Расчет спектров пропускания и отражения при наличии поглощения 32
1.5. Методика определения оптических констант пленок при наличии поглощения 34
1.6. Программное обеспечение методики 41
ГЛАВА 2. Исследование оптических констант пленок 44
2.1. Изготовление пленок 44
2.2. Оптические константы подложек 45
2.3. Оптические константы пленок на основе фторида бария 50
2.4. Оптические константы пленок на основе фторида иттрия 56
2.5. Сводные результаты по оптическим константам 62
Заключение 68
ЧАСТЬ 2. Синтез ахроматических просветляющих покрытий 70
ГЛАВА 3. Методы синтеза интерференционных покрытий 72
3.1. Обзор методов синтеза интерференционных покрытий 72
3.1.1. Аналитические методы синтеза 72
3.1.2. Численные методы оптимизации характеристик покрытия
3.2. Метод эквивалентных слоев 86
3.3. Программное обеспечение синтеза покрытий 91
ГЛАВА 4. Анализ устойчивости синтезированных покрытий 96
4.1. Обзор методов анализа устойчивости 96
4.2. Критерий устойчивости на основе анализа трансформации спектров 100
4.3. Программное обеспечение для анализа устойчивости 102
4.4. Сравнительный анализ критериев устойчивости интерференционных покрытий
4.4.1. Полосовой интерференционный фильтр 105
4.4.2. Ахроматическое просветляющее покрытие 110
4.4.3. Светоделительное покрытие 112
ГЛАВА 5. Ахроматические просветляющие покрытия для средней ик области спектра 118
5.1. Методика синтеза просветляющих покрытий 119
5.2. Просветляющие покрытия на кремнии 121
5.3. Просветляющие покрытия на германии 129
5.4. Просветляющие покрытия на селениде цинка 135
Заключение 140
Основные результаты и выводы 142
Список литературы 1
