Введение
ГЛАВА 1. Синтез интерференционных покрытий 15
1.1. Синтез и анализ интерференционных покрытий 15
1.2. Исследование устойчивости широкополосных спектроделительных покрытий 29
1.3. Методики коррекции спектральных характеристик отрезающих фильтров 35
Выводы 51
ГЛАВА 2. Исследование оптических констант тонких пленок 53
2.1. Методы исследования оптических постоянных тонких пленок 53
2.2. База данных оптических констант для пленок, используемых при изготовлении интерференционных фильтров 60
2.3. Синтез и исследование новых материалов на основе халькогенидов мышьяка 75
Выводы 80
ГЛАВА 3. Технологические особенности вакуумного напыления оптических покрытий 82
3.1. Экспериментальное вакуумное оборудование 82
3.2. Формирование пленок постоянной толщины на подложках, совершающих одинарное вращение 87
3.3. Формирование пленок постоянной толщины на подложках, совершающих планетарное вращение 100
3.4. Методика контроля толщин осаждаемых пленок 110
Выводы 115
ГЛАВА 4. Синтез и исследование интерференционных фильтров различного назначения 116
4.1. Приемники ИК-диапазона и ИК-оптопары 116
4.2. Пожарные извещатели пламени 127
4.3. Формирователь тест-сигнала для проверки работоспособности инфракрасных датчиков пламени и взрыва 130
4.4. Спектральные и эксплуатационные характеристики разработанных интерференционных фильтров 135
Выводы 155
Заключение 156
Список литературы 158
Приложения 172
