Исследование плазмы в СВЧ-реакторах и характеристик получаемых в них алмазных плёнок оптическими методами
Радищев Дмитрий Борисович. Исследование плазмы в СВЧ-реакторах и характеристик получаемых в них алмазных плёнок оптическими методами : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Радищев Дмитрий Борисович; [Место защиты: Ин-т прикладной физики РАН].- Нижний Новгород, 2009.- 148 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-1/375
