Введение
Глава 1. Современное состояние исследований по данной проблеме, основные направления исследований в мировой науке 14
1.1 Аркообразные балки как механический бистабильный элемент микросистемной техники (МСТ) 14
1.2 Применение аркообразных упругих элементов 17
1.3 Современное состояние аналитического и экспериментального исследования арочных структур 20
1.4 Устойчивость состояний и балки с модулированной жесткостью 26
1.5 Динамическое поведение аркообразной микробалки 28
1.5 Технология изготовления преднапряжённых и аркообразных упругих структур 33
1.6 Выводы и постановка задачи исследования 37
Глава 2. Технология изготовления аркообразных упругих элементов 40
2.1 Технология изготовления внеплоскостных плёночных акрообразных элементов с использованием поверхностной микрообработки 40
2.2 Преднапряжённые балочные плёночные упругие элементы 43
2.3 Технологическое управление внутренними напряжениями металлических плёнок 52
2.4 Объёмная технология изготовления аркообразных упругих элементов 61
Выводы по второй главе 66
Глава 3. Анализ нелинейного поведения арочных структур и возникающих неустойчивостей 68
3.1 Критерии бистабильного поведения аркообразного микроподвеса 68
3.2 Бистабильные системы с компенсацией продольной нагрузки 80
3.3 Метод повышения устойчивости стабильных состояний 88
3.4 Температурная зависимость 95
3.5 Несимметричные формы переходов 100
Выводы по третьей главе 109
Глава 4. Исследование динамического нелинейного поведения аркообразных подвесов 111
4.1 Резонансные колебания аркообразных подвесов при малом возмущении 111
4.2 Нелинейные колебания аркообразных подвесов 125
4.3 Организация перехода между устойчивыми состояниями с применением предварительной раскачки 137
Выводы по четвёртой главе 142
Заключение 143
Список литературы 146
