Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС
Буздуган Алексей Анатольевич. Исследование причин деградации и разработка подходов к повышению стабильности наноразмерных межсоединений СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Буздуган Алексей Анатольевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 147 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/975