Введение
Глава 1. Оптимизация активной области светодиодной гетероструктуры на основе АHnСaN 16
1.1. Проблема падения внешней квантовой эффективности с ростом тока накачки и предлагаемые методы решения (обзор) 16
1.2. Неоднородность инжекции носителей в активную область в стандартной гетероструктуре. Гетероструктуры с короткопериодной сверхрешёткой в активной области 23
1.3. Моделирование электрооптических свойств гетероструктур с короткопериодной сверхрешёткой в активной области 34
1.4. Экспериментальное исследование гетероструктур с короткопериодной сверхрешёткой в активной области. Сопоставление с результатами моделирования 37
1.5. Особенности температурных зависимостей эффективности и спектральных характеристик электролюминесценции светодиодных гетероструктур на основе АHnСaN 43
Глава 2. Создание рассеивающих свет неоднородностей на границе СаН-сапфир для преодоления эффекта полного внутреннего отражения света и увеличения внешней квантовой эффективности светодиодов 48
2.1. Способы создания рассеивающих интерфейсов на границах светодиодной гетероструктуры для увеличения коэффициента вывода света (обзор] 48
2.2. Формирование пористого слоя на границе СaN-АЬОз на стадии роста низкотемпературного зародышевого слоя 52
2.3. Экспериментальное подтверждение повышения эффективности в светодиодных гетероструктурах, выращенных на сапфировой подложке с формированием пористого слоя на границе GaN АI2O3 67
Глава 3. Повышение эффективности вывода света из кристаллов светодиодов на стадии формирования контактов, исследование свойств прозрачных проводящих плёнок ITO 70
3.1. Сравнение существующих конструкций мощных эффективных светодиодных кристаллов (обзор] 70
3.2. Разработка технологии создания прозрачного проводящего контакта к р-поверхности светодиодных кристаллов, в которых вывод света осуществляется через прозрачный контакт 74
3.3. Способы создания контактов с высоким коэффициентом отражения к р-поверхности светодиодных кристаллов мезапланарной конструкции, в которых вывод света осуществляется через прозрачную подложку 85
Заключение 92
Публикации автора по теме диссертации 94
Список литературы 97
