Введение ......................................................................................................................... 4
Глава 1. Литературный обзор ..................................................................................... 11
1.1. Структура и свойства пористых материалов ...................................... 11
1.2 Технологии модификации пористых материалов ................................ 25
1.3. Лазерная абляция наноструктур пористого кремния .......................... 35
1.4. Постановка задач исследования ............................................................ 42
Глава 2. Лазерная поверхностная модификация пористых пленок ........................ 45
2.1. Динамика пор при лазерной поверхностной модификации .............. 45
пористых пленок ............................................................................................ 45
2.1.1. Механизмы миграции пор в расплаве ....................................... 45
2.1.2. Динамика схлопывания пор при лазерной поверхностной модификации пористых пленок ................................................. 51
2.2. Нагрев и плавление пористой металлической пленки под действием лазерного излучения .............................................................................. 61
2.2.1. Численное решение системы уравнений теплопроводности. Результаты. ................................................................................... 69
2.3. Выводы по второй главе ......................................................................... 75
Глава 3. Механизмы лазерной абляции наноструктур пористого кремния .......... 77
3.1. Моделирование процесса лазерной абляции пленок пористого кремния методом молекулярной динамики. ....................................................... 77
3.1.1. Методология и методы исследования лазерной абляции пористого кремния ....................................................................... 82
3.1.2. Определение количества аблированных атомов и порога абляции пленок пористого кремния при лазерном облучении ультрафиолетового (300 нм) и видимого (600 нм) диапазона. 89
3.1.3. Определение количество аблированных атомов и порога абляции пленок пористого кремния при лазерном облучении инфракрасного (1030 нм) диапазона. ......................................... 94
3.1.4. Экспериментальная апробация по определению порога абляции пленок пористого кремния.......................................................... 98
3.2. Моделирование процесса лазерного плавления пленок пористого кремния с помощью комбинированной континуально-атомистической модели MD-nTTM ................................................................................ 102
3.2.1. Методология и методы исследования лазерного плавления пленок пористого кремния с помощью комбинированной континуально-атомистической модели MD-nTTM. ............... 104
3.2.2. Результаты моделирования. ...................................................... 108
3.3. Выводы по третьей главе ..................................................................... 114
Заключение ................................................................................................................. 117
Список сокращений .................................................................................................. 119
Благодарности ............................................................................................................ 120
Список публикаций автора по теме диссертации .................................................. 121
Список литературы .................................................................................................... 124
