Введение
Глава 1. Лазерная термохимическая запись на ТМП. Обзор литературы 19
1.1.Лазерная термохимическая запись на ТМП 19
1.2. Применение лазерной термохимической записи 28
Глава 2. Лазерная термохимическая запись на ТМП с увеличивающейся поглощательной способностью 31
2.1. Экспериментальное исследование 31
2.2.Постановка задачи теоретического исследования 33
2.3.Моделирование многократного экспонирования 39
2.3.1. Влияние изменения оптических характеристик 40
2.3.2. Влияние изменения теплофизических характеристик
2.4. Моделирование много пучкового экспонирования 48
2.5. Моделирование много пучкового и многократного экспонирования 51
2.6.Влияние смещений пучка на поверхности пленки на качество записи 56
2.7. Выводы 59
Глава 3. Лазерная термохимическая интерференционная запись 61
3.1. Экспериментальное исследование 61
3.2. Постановка задачи моделирования 66
3.3.Результаты и обсуждение 68
3.4.Выводы 76
Глава 4. Лазерная термохимическая запись на ТМП с уменьшающейся поглощательной способностью 77
4.1.Экспериментальное исследование лазерной термохимической записи на плёнках титана и олова 77
4.2.Постановка базовой задачи моделирования процесса окисления 87
4.3.Решение базовой задачи моделирования процесса окисления
4.4. Решение задачи моделирования процесса окисления с учётом изменения оптических характеристик 94
4.5. Приближённое решение 9 7
4.6.Результаты и обсуждение 100
4.7.Выводы 106
Глава 5. Пути повышения разрешающей способности лазерной термохимической записи 108
5.1. Физико-химические свойства материала и разрешающая способность
5.2.Геометрические параметры и разрешающая способность
5.3. Техно логические параметры и разрешающая способность
5.3.1. Длительность и мощность облучения
5.3.2. Количество записывающих пучков
5.3.3. Количество экспонирований
5.4.Выводы
Глава 6. Сравнительное исследование конкурентоспособности прямой лазерной термохимической записи на ТМП 120
6.1.Актуальность 120
6.2.Лазерные технологии размерной обработки тонких плёнок 121
6.2.1. Фотолитография DUV и EUV 121
6.2.2. Наноимпринт литография 123
6.2.3. Лазерное осаждение 124
6.3.Метод исследования 126
6.4.Выводы 128
3 аключение 134
Литература
