Введение
Глава 1. Определение оптимальных параметров метода дифференциального рассеяния для измерения шероховатости поверхностей диэлектриков 23
Введение 23
1.1 Дифракция плоской волны на гофрированной границе раздела двух ди электриков 24
1.2. Анализ оптимальных условий для измерения шероховатости диэлектрических поверхностей методом дифференциального рассеяния 29
Выводы к главе 1 42
Глава 2. Рассеяние Н-волны на шероховатости границы плёночного волновода 43
2.1 Постановка задачи. Метод её решения 43
2.2 Рассеяния Н-волны в одну среду (подложку) 46
2.2.1 Вывод выражения для коэффициента рассеяния на гофре 48
2.2.2 Анализ основных зависимостей для рассеяния только в подложку 53
2.3 Рассеяние Н-волны в обе обрамляющие среды 58
2.3.1 Вывод выражения для коэффициента рассеяния на гофре 58
2.3.2 Анализ основных зависимостей, условия минимума и максимума для случая рассеяния в обе обрамляющие среды 60
2.4 Диапазон пространственных гармоник (периодов), которые приводят к рассеянию 62
2.5 Угловые зависимости интенсивности рассеянного излучения для Н-
волны 68
Выводы к главе 2 72
Глава 3. Измерение спектральной плотности шероховатости поверхности по рассеянию Н-волны в плоском плёночном волноводе 74
3.1 Обоснование методики измерения спектральной плотности шероховатости поверхности волноводным методом 74
3.2 Влияние условий ввода излучения в волновод на проникновение излучения в подложку 78
3.2.1 Факторы, приводящие к проникновению части падающего пучка в подложку 78
3.2.2 Постановка задачи и этапы её решения 79
3.2.3 Падение плоской волны на призменный элемент ввода 80
3.2.4 Спектр падающего пучка. Падение пучка на призменный элемент ввода 84
3.2.5 Анализ зависимости мощности, проникающей в подложку от угла падения 87
3.2.6 Обоснование выбора параметров основных элементов системы ввода 90
3.3 Анализ оптимальных вариантов измерений 91
3.3.1 Анализ диапазона измеряемых периодов 93
3.3.2 Анализ оптимальных вариантов измерения по чувствительности 98
3.3.3 Анализ оптимальных вариантов измерений по разрешающей способности 101
3.4 Дублирование измерений и их точность 103
3.4.1. Рассеяние в воздух, рассеяние в подложку 103
3.4.2 Коэффициент затухания a 105
3.5 Методика обработки результатов измерений 106
Выводы к главе 3 107
Глава 4. Экспериментальные исследования рассеяния света на шероховатой границе плёночных диэлектрических волноводов 109
4.1 Обеспечение и контроль гладкости верхней границы волновода 109
4.2 Измерение эффективности ввода, коэффициента затухания 112
4.3 Описание экспериментальной установки. Основные элементы и их на значение 119
4.4 Характеристики трёх вариантов регистрирующей части 121
4.4.1. Фотоприёмник с микроамперметром 122
4.4.2. Фотоприёмник с усилителем 123
4.4.3 Цифровая видеокамера 124
4.5 Измерение параметров искусственной шероховатости методами одно кратного и волноводного рассеяния 125
4.5.1 Метод однократного рассеяния 126
4.5.2. Метод волноводного рассеяния 127
4.6 Расчёт чувствительности и разрешающей способности установки. Точности измерений 130
4.6.1 Чувствительность 130
4.6.2 Разрешающая способность ...131
4.7 Измерение спектральной плотности шероховатости диэлектрической поверхности 133
4.8 Пути совершенствования измерительной установки 139
Выводы к главе 4 143
Заключение 146
Список литературы 150
