Введение
Глава 1. Получение и исследование поликрисгаллических углеродных пленок 7
1.1 .Аллотропные формы углеродных материалов 7
1.2. Формирование углеродных материалов в ходе процесса плазмохимического осаждения 12
1.3. Оптические и электрофизические свойства поликристаллических углеродных материалов 33
Глава 2. Методика проведения эксперимента 43
2.1 Экспериментальные методики для получения углеродных пленок методом плазмохимического осаждения 43
2.2 Методы исследования электронной и фононной энергетической структуры углеродных материалов 45
2.3 Методы исследования структурно-морфологических свойств 50
2.4 Дополнительные методы исследования 56
Глава 3. Исследование структурно-морфологических и электронных свойств кристаллических углеродных пленок 58
3.1. Зависимость структурно-морфологических характеристик углеродных пленок от режимов плазмохимического осаждения 58
3.2 Особенности электронной энергетической структуры микрокристаллических алмазных пленок 64
3.3 Структурные дефекты в нанокрнсталлическом графите 70
3.4 Структурно-морфологические характеристики алмазных пленок 82
3.5 Механизм формирования нанокристаллитов графита 98
3.6 Основные выводы главы 3 104
Глава 4. Получение и применение монокристаллов алмаза пирамидальной формы ... 106
4.1. Факторы, определяющие геометрию монокристаллов алмаза пирамидальной формы 106
4.2. Получение монокристаллов алмаза пирамидальной формы 108
4.3 Исследование свойств монокристаллов алмаза пирамидальной формы 111
4.4.Практические применения монокристаллов алмаза пирамидальной формы 117
Заключение 125
Список публикаций по результатам, представленным в настоящей работе 127
Список литературы . 129
