Введение
ГЛАВА 1. Элементная база интегральной оптики на основе золь-гель волноводов 12
1.1 Золь-гель технология 13
1.2 Параметры золь-гель пленок
1.2.1 Пленки sio2io2 16
1.2.2 Борофосфосиликатные пленки 17
1.2.3 Пленки на основе zro2 17
1.2.4 Влиянме параметров технологического режима на характеристики волноводов
1.2.5 Пористость золь-гель пленок 19
1.2.6 Исследование температурных зависимостей параметров пленок 22
1.3 Исследования температурной зависимости эффективного показателя преломления (эпп) 25
1.4 Экспериментальное определение температурной зависимости эффективного показателя преломления 28
1.5 Корректировка фазовых ошибок в волноводных матрицах мультиплексоров/демультиплексоров 31
1.6 лазеры с распределенными брэгговскими отражателями и распределенной обратной связью 38
ГЛАВА 2. Расчетные исследования температурной зависимости эпп планарных золь-гель волноводов 42
2.1 Исследование зависимости критических толщин мод от температуры 42
2.2 Исследование зависимости эпп от температуры волноводов с разными параметрами золь-гель пленки 47
2.3 Исследование температурного коэффициента эпп мод планарных оптических золь-гель волноводов 53
2.4 Зависимость парциальной мощности p2/p волны, распространяющейся в золь-гель пленке от параметров волновода 60
2.5 Выводы к главе 2 63
ГЛАВА 3. Температурные свойства канальных оптических волноводов на основе золь-гель материалов 65
3.1 Выбор параметров канальных золь-гель волноводов 67
3.2 Температурная зависимость эпп канальных золь-гель волноводов 68
3.3 Температурный коэффициент ЭПП 73
3.4 Выводы к главе 3 76
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование температурной зависимости эпп мод оптических золь гель волноводов 79
4.1 Метод оптического туннелирования 78
4.2 Изготовление образцов золь-гель пленок
4.3 Термоэлектрический модуль (элемент) пельтье 84
4.4 Экспериментальная установка и определение зависимости углов возбуждения мод от температуры 87
4.5 Определение температурных зависимостей эпп te1- и tm1-мод образцов золь гель волноводов 89
4.6 Анализ изменения показателя преломления призмы вывода с ростом температуры 93
4.7 Определение температурных зависимостей показателя преломления и толщины пленок образцов золь-гель волноводов 96
4.8 Выводы к главе 4 99
ГЛАВА 5. Применение температурных свойств планарных оптических золь-гель волноводов в устройствах интегральной оптики 101
5.1 Регистратор температуры 101
5.1.1 Регистратор температуры на призме 102
5.1.2 Регистратор температуры на дифракционной решетке 106
5.2 Ограничитель температуры 111
5.3 Расчетное исследование влияния температуры на основные параметры волноводной матрицы демультиплексора 117
5.4 Температурный сдвиг центральной длины волны 120
5.5 Одночастотные рбо- и рос-лазеры 125
5.6 Выводы к главе 5 128
Заключение 130
Спикок литературы 132
Список печатных работ
