Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 13
1.1. СВЧ устройства, применяемые для получения плазмы 13
1.2. Моделирование СВЧ разрядов 21
1.3. Моделирование электродного СВЧ разряда 31
1.4. Выводы к Главе 1 34
ГЛАВА 2. Описание разработанных моделей электродного СВЧ разряда 36
2.1. Введение 36
2.2. Геометрия задачи (расчетная область) 36
2.3. Основные уравнения 38
2.4. Выводы к Главе 2 47
ГЛАВА 3. Влияние диэлектрического покрытия антенны и малых добавок азота на свойства плазмы электродного СВЧ разряда в водороде 48
3.1. Влияние диэлектрического покрытия антенны на свойства электродного СВЧ разряда 48
3.2. Влияние малых добавок азота на СВЧ-разряд пониженного давления в водороде. Моделирование 57
3.3. Выводы к Главе 3 64
ГЛАВА 4. Влияние малых добавок аргона на сильно неоднородный СВЧ разряд (электродный СВЧ разряд) пониженного давления в водороде 65
4.1. Введение 65
4.2. Экспериментальная часть 66
4.3. Модель 68
4.4. Результаты и обсуждение 70
4.5. Выводы к главе 4 81
ГЛАВА 5. Влияние внешнего постоянного электрического поля на свойства неоднородного микроволнового разряда в водороде при пониженных давлениях 83
5.1 Введение. 83
5.2. Самосогласованная 2D модель разряда. 83
5.3. Экспериментальная установка 84
5.4. Результаты и обсуждение
5.5. Выводы к главе 5 98
Заключение 100
Благодарности 102
Литература
