Введение
1. Современное состояние исследований характеристик полупроводниковых структур на сверхвысоких частотах 14
1.1. Волноводные методы измерения электрофизических параметров полупроводников
1.2. Мостовые методы измерения параметров полупроводников
1.3. Резонаторные методы измерения параметров полупроводников
1.4. Измерение параметров материалов методом волноводно-диэлектрического резонанса
1.5. Автодинные методы измерений 46
2. Теоретические основы метода измерения характеристик полупроводниковых структур с использованием синхронизированного СВЧ-генератора
2.1. Теория волноводного метода измерения подвижности 48
свободных носителей заряда с использованием эффекта СВЧ-магнитосопротивления
2.2. Модель полупроводникового синхронизированного СВЧ-генератора, работающего в режиме вычитания когерент ных сигналов: синхросигнала и выходного сигнала синхронизированного генератора 5І
2.3. Измерение подвижности свободных носителей заряда на основе эффекта СВЧ-магнитосопротивления с использо ванием полупроводникового синхронизированного СВЧ- генератора
3. Результаты компьютерного моделирования водникового синхронизированного СВЧ-генератора, работающего в режиме вычитания когерентных сигналов:синхросигнала и выходного сигнала
3.1. Компьютерное моделирование схемы измерений подвижности свободных носителей заряда в полупроводниковых структурах с использованием синхронизированного СВЧ-генератора
4. Результаты экспериментального исследования метода измерений подвижности свободных носителей заряда в полупюводниковыхструктурах с использованием синхронизированного свч-генератора 82
Заключение 92
Библиографический список 94
Приложение 109
