Исследование закономерностей изменчивости аэрозолтехническихя под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники
Севрюкова Елена Александровна. Исследование закономерностей изменчивости аэрозолтехническихя под действием температуры и влажности в чистых помещениях микроэлектроники: автореферат дис. ... кандидата технических наук: 05.11.13 / Севрюкова Елена Александровна;[Место защиты: Национальном исследовательском университете “МИЭТ”].- Москва, 2011.- 24 с.
