Источники широких пучков ионов газов на основе тлеющего разряда для технологических применений
Емлин, Даниил Рафаилович. Источники широких пучков ионов газов на основе тлеющего разряда для технологических применений : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.13 / Емлин Даниил Рафаилович; [Место защиты: Ин-т электрофизики УрО РАН].- Екатеринбург, 2013.- 168 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-5/1292
