Введение
Глава 1. Проекционная фотолитография 9
Глава 2. Остаточное двулучепреломление 18
2.1. Методы контроля двулучепреломления 22
2.2. Описание установки 25
2.2.1. Измерительные возможности цифровой камеры 28
2.3. Математическая модель метода измерений двулучепреломления 31
2.4. Определение величины и ориентации двулучепреломления 34
2.5. Расчет модуляции интенсивности источника света 39
2.6. Исследование точности метода
2.6.1. Описание формата .brf 44
2.6.2. Генерация шума 45
2.6.3. Моделирование результатов измерения 46
Глава 3. Методы оценки влияния поляризации на качество оптического изображения 65
Глава 4. Исследование влияния двулучепреломления на качество проекционных оптических систем 74
4.1. Влияние местных неравномерностей двулучепреломления на структуру дифракционного изображения точки 74
4.2. Влияние распределения двулучепреломения при когерентном освещении 82
4.3. Метод базисных плоских волн 86
4.3.1. Технология CUDA 95
Заключение 107
Список литературы 110
