Введение
Глава 1. Особенности растворения материалов, подвергнутых радиационному облучению .
1.1. Изменение физико-химических свойств диоксида кремния после ионной имплантации 14
1.2. Использование атомно-силовой микроскопии для изучения материалов после имплантации . 23
1.3. Практическое применение радиационно- стимулированного травления. 29
1.4. Методики определения скорости растворения тонких пленок. 36
Глава 2. Методики исследования процессов растворения с помощью атомно-силового микроскопа .
2.1. Конструктивные особенности атомно-силовых микроскопов и жидкостных ячеек для проведения исследования процессов растворения in situ. 40
2.2. Подготовка образцов для проведения исследования процессов растворения с помощью атомно-силового микроскопа . 48
2.3. Проведение исследования процессов растворения методом многократного сканирования. 55
2.4. Проведение исследования процессов растворения методом однократного сканирования. 61
Глава 3. Применение компьютерного моделирования при изучении радиационно-стимулированного растворения .
3.1. Реконструкция полученных АСМ изображений с помощью метода численной деконволюции . 70
3.2. Создание виртуальных наноструктур и моделирование процесса их растворения. 79
3.3. Моделирование распределения внедренных ионов и дефектов в имплантированном слое. 88
Глава 4. Изучение радиационно-стимулированного растворения диоксида кремния с помощью атомно-силового микроскопа .
4.1. Исследования процессов растворения имплантированного диоксида кремния. 100
4.2. Исследование процессов растворения наноструктурированного диоксида кремния, полученного после имплантации ионов Fe+. 109
4.3. Визуализация треков оставшихся после бомбардировки диоксида кремния отдельными высокоэнергичными ионами . 119
4.4. Механизмы радиационно-стимулированного растворения диоксида кремния. 126
Заключение. 137
Список публикаций автора. 139
Список цитируемой литературы. 144
