Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 7
1. Электродный СВЧ разряд пониженного давления 8
2. Инициированный СВЧ разряд. Пространственные структуры свободнолокализованного СВЧ разряда 17
3. Двойные электрические слои 35
4. Системы похожей геометрии 41
Основные выводы и постановка задачи 47
ГЛАВА 2. Экспериментальная установка и методы исследования .
1. Схема экспериментальной установки 51
2. Зондовые измерения 57
3. Спектрально-оптические измерения 63
ГЛАВА 3. Результаты экспериментов. анализ.
1. Феноменология разряда 71
2. Влияние формы электрода на структуру разряда 81
3. Интегральные оптические измерения 86
4. Спектральные измерения в водородном разряде 109
5. Метод определения напряженности электрического поля и концентрации электронов в плазме водородного разряда по
относительным интенсивностям спектральных линий 123
6. Пространственное распределение напряженности электрического поля и концентрации электронов в водородном разряде 126
7. Зондовые измерения 146
8. Эксперименты с пылью 155
ГЛАВА 4. Обсуждение результатов. Сравнение с моделью 160
Основные результаты и выводы 177
Литература 182
Литература по электродному свч разряду
