Электронная микроскопия композиций на основе тонких пленок для микроэлектроники
Хмеленин, Дмитрий Николаевич. Электронная микроскопия композиций на основе тонких пленок для микроэлектроники : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Хмеленин Дмитрий Николаевич; [Место защиты: Ин-т кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН].- Москва, 2013.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-1/55