Введение
Глава 1. Анализ тенденций развития и методов достижения требуемых эксплуатационных характеристик мнкроэлектро иных преобразователей 8
1.1. Анализ тенденций развития микроэлектронных датчиков 8
1.2. Анализ работ в области исследования датчиков 9
1.2.1. Системный подход к задачам анализа, синтеза и улучшения эксплуатационных характеристик преобразователей 10
1.2.2 Анализ методов достижения требуемых эксплуатационных характеристик микроэлсктронных датчиков давления 13
1.2.3 Анализ методов моделирования и расчета микроэлектронных датчиков 18
Выводы по первой главе 26
Глава 2. Параметрические структурные схемы физико-технических эффектов преобразования механических величин в электрические в микроэлектронных датчиках 28
2.1 Энергоинформационпые модели цепей (ЭИМЦ) различной физической природы 28
2.2 Аппарат параметрических структурных схем (ПСС) 33
2.3 ПСС ФТЭ преобразования механических величин в электрические в микроэлектроппых датчиках 35
2.4 Методика энерго-информационного моделирования преобразователя на основе SADT-технологии 38
Выводы по второй главе 40
Глава 3. Энерго-информационные модели микроэлектронных датчиков давления 41
3.1 Упрощенные параметрические структурные схемы микроэлектронных датчиков давления 41
3.2 Разработка энергоинформационной модели (ЭИМ) емкостного датчика давления... 44
3.3 Разработка энергоинформационной модели (ЭИМ) частотного датчика давления (с вибрационным элементом) 56
3.4 Разработка энергоинформационной модели (ЭИМ) тензорезисторного датчика давления 69
Выводы по третьей главе 75
Глава 4. Разработка методик, алгоритмов и программного обеспечения для расчета выходных величин микроэлектроппых датчиков давления на основании разработанных ЭИМ 77
4.1. Методика и алгоритм расчета выходного напряжения микроэлектронного емкостного датчика давления 77
4.1.1. Методика расчета выходного напряжения мпкроэлектронного емкостного датчика давления 77
4.1.2. Алгоритм расчета выходного напряжения мпкроэлектронного емкостного датчика давления 78
4.2 Методика и алгоритм расчета частоты вибрации резонатора микроэлектронного частотного датчика давления 81
4.2.1. Методика расчета частоты вибрации резонатора микроэлектронного частотного датчика давления 81
4.2.2. Алгоритм расчета частоты вибрации резонатора микроэлектронного частотного датчика давления 83
4.3 Методика и алгоритм расчета выходных характеристик тензорезисторного датчика давления 86
4.3.1. Методика расчета выходных характеристик тензорезисторного датчика давления 86
4.3.2. Алгоритм расчета выходных характеристик микроэлектронного тензорезисторного датчика давления 87
4.4 Разработка системы автоматизированного расчета микроэлектронных датчиков давления 89
Выводы по четвертой главе 90
Глава 5. Проверка адекватности разработаннььх ЭИМ микроэлектроннык датчиков давления 91
5.1. Проверка адекватности ЭИМ емкостного датчика давления и методики расчета 91
5.2. Проверка адекватности ЭИМ частотного датчика давления 95
5.3. Тестовые примеры расчета тензорезисторного датчика давления 99
5.4 Функциональная модель микроэлектронного датчика давления 103
Выводы по пятой главе 104
Заключение 107
Библиографический список использованной литературы 112
Приложение 1
