Введение
ГЛАВА 1. Литературный обзор 8
1.1 Получение поликристаллического кремния для полупроводниковой техники и солнечной энергетики 8
1.2 Методы восстановления хлорсиланов 10
1.3 Кваптово-химические методы моделирования реакций с участием хлорсиланов 23
1.4 Квантово-химическое моделирование хемосорбции на поверхностях металлов
ГЛАВА 2. Моделирование постадийного восстановления тетрахлорида кремния водородом 40
2.1 Методика расчета 40
2.2 Обсуждение результатов 43
ГЛАВА 3. Моделирование влияния поверхностей металлов на диссоциативную хемосорбцию водорода 54
3.1 Методика расчета 54
3.2 Обсуждение результатов 63
ГЛАВА 4. Экспериментальное изучение кинетики реакции каталитического восстановления тетрахлорида кремния водородом 90
4.1 Методика эксперимента 90
4.2 Хроматографический и хромато-масс спектрометрический анализ хлоридов кремния 92
4.3 Обсуждение результатов
ГЛАВА 5. Механизм реакции восстановления тетрахлорида водородом на поверхности хлорида никеля 104
Выводы 107
Список литературы
