Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия
Капинос, Сергей Павлович. Кинетические закономерности взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы смесей HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 с арсенидом галлия : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.04 / Капинос Сергей Павлович; [Место защиты: Иван. гос. хим.-технол. ун-т].- Иваново, 2012.- 111 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-2/97