Кинетика атомных процессов и формирование сверхтонких пленок Cr, Co и их дисилицидов на Si(III)
Миленин, Алексей Петрович. Кинетика атомных процессов и формирование сверхтонких пленок Cr, Co и их дисилицидов на Si(III) : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07.- Владивосток, 2000.- 140 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-1/50-X