Введение
1. Современное состояние в области электроискровой подгонки резисторов и постановка задач исследования... 18
1.1 Основные закономерности электроискровой полгонки резисторов 18
1.1.1 Реализация метода электроискровой подгонки 18
1.1.2 Механизм изменения сопротивления в результате воздействия электроискрового разряда на резистивный материал 20
1.1.3 Входные и выходные показатели процесса подгонки 22
1.1.4 Анализ проведенных исследований в области электроискровой подгонки 25
1.1.5 Обзор оборудования электроискровой подгонки 28
1.2 Анализ методов повышения точности, производительности
и управления направлением подгонки 31
1.2.1 Методы повышения точности и производительности за счет изменения положения разрядного электрода 3 1
1.2.2 Методы повышения точности и производительности за счеі управления параметрами разрядных импульсов 34
1.2.3 Анализ по результатам обзора методов повышения выходных показателей подгонки 37
1.3 Анализ меюлов оптимизации технологических процессов 39
1.4 Анализ алі ори і мов адаптации параметров
технологических процессов 48
1.5 Выводы и постановка задачи 56
Разработка методов повышения выходных 58
2.1.1 Повышение скорости подгонки за счет перемещения электрода в вертикальном направлении 59
2.1.2 Повышение скорости подгонки за счет уменьшения количества циклов измерения 61
2.2 Повышение точности подгонки 67
2.2.1 Повышение точности подгонки за счет уменьшения длительности разрядного импульса 68
2.2.2 Повышение точности за счет реза специальной формы 71
2.3 Определение оптимальной формы подгоночных резов с использованием математической модели резистивной плёнки 74
2.3.1 Формы подгоночных резов и методы расчета параметров резистивной пленки 75
2.3.2 Разработка математической модели для анализа резов различной формы 78
2.3.3 Определение влияния резов различной формы на показатели электроискровой подгонки 82
2.4 Повышение производительности для многорезистивных изделий за счёт расширения технологических возможностей оборудования 83
2.5 Выводы по главе 2 86
3. Разработка и реализация основных требований к оборудованию электроискровой подгонки 88
3.1 Основные требования к автоматизированному оборудованию электроискровой подгонки резисторов 88
3.2 Регистрация динамики изменения сопротивления резистора 92
3.3 Возможные варианты построения комплекса ЭИП 96
3.3.1 Определение состава комплекса
и структурной схемы установки ЭИП 96
3.3.2 Измерение величины сопротивления 100
3.3.2.1 Определение параметров масштабирующей матрицы 105
3.3.3 Управление параметрами процесса 111
3.3.4 Реализация алгоритмов адаптации 113
3.3.5 Реализация алгоритмов оптимизации 117
3.4 Выводы по главе 3 120
4. Исследование влияния процесса электроискровой подгонки на выходные показатели резистивных элементов 123
4.1 Исследование кинетики подгонки 123
4.2 Исследование влияния электроискровой подгонки на ТКС и стабильность толстоплёночных резисторов 132
4.3 Исследование способов формирования высоковольтных разрядных импульсов на кинетику подгонки 144
4.4 Выводы по главе 4 149
Заключение 150
Литература
